Чистые помещения

Наилучшей иллюстрацией эффективности чистых помещений является применение чистых производственных помещений (ЧПП) в технологии производства полупроводниковых приборов, где концентрация частиц размером более 0,1 мкм не должна превышать 3500 м -3. Такие помещения будем называть сверхчистыми помещениями.

Необходимо иметь в виду, что для описания движения субмикронных микрочастиц нельзя пользоваться законом Стокса, обычно применяющимся в теории очистки при анализе движения относительно крупных частиц, поскольку поведение субмикронных частиц определяется броуновским движением. Недостаточность сведений о поведении субмикронных частиц в различных условиях и отсутствие надежных методов их определения существенно усложняют развитие теории очистки. По этой причине при создании сверхчистых помещений возникает множество проблем.

Из кривых распределения размеров аэрозолей в атмосфере известно, что концентрация частиц размером более 0,1 мкм составляет в ней 3,5 108 м -3. Воздушную среду класса 10 с концентрацией частиц размером 0,1 мкм 350 м -3, т.е. среду, в которой концентрация частиц снижена в 106 по сравнению с концентрацией частиц пыли в атмосфере, назовем сверхчистой газовой средой.

Чистые производственные среды:

• Чистые помещения и аэрозоли
• Размер, форма и плотность частиц
• О технике очистки воздуха
• Использование чистых помещений
• Малогабаритные комнаты со сверхчистой средой
• Контроль взвешенных микрочастиц в чистых средах
• Распределение взвешенных частиц по размерам
• Взвешенные микрочастицы в помещениях класса 10
• Примеси, содержащиеся в воздухе помещений
• Биологически чистые помещения
• Расчет концентрации аэрозолей в помещениях
• Очистка воздуха внутри помещений
• Основы проектирования систем очистки воздуха внутри зданий
• Оборудование для очистки воздуха
• Оборудование для пылеулавливания
• Выбор оборудования для фильтрования
• Системы чистых производственных помещений
• Получение и подача сверхчистого воздуха
• Типы систем чистых помещений
• Метод локального чистого пространства
• Метод герметизации
• Применение сверхчистых помещений
• Чистые помещения и потребление энергии
• Количественная оценка энергетических затрат
• Потребление энергии источниками тепла
• Снижение энергозатрат в вентиляционной системе
• Необходимость сверхчистых помещений
• Устройство сверхчистых помещений
• Анализ воздушных потоков и движение микрочастиц
• Локальные сверхчистые помещения
• Автоматизированные линии в полупроводниковой технологии
• Чистые помещения для обработки кремниевых пластин
• От беспыльной к безлюдной технологии
• Проблемы проектирования сверхчистых помещений
• Точность контроля параметров среды
• Создание высокочистой среды
• Стабильность нера-фильтров
• Рекомендации по проектированию вентиляции помещения
• Некоторые рекомендации относительно фильтрации воздуха
• О методах регулирования мпературы и влажности

Получение биологически чистых помещений

Следует отметить, что техника получения высокочистой по биологическим частицам воздушной среды в биологически чистых помещениях (БЧП) практически аналогична ЧПП. Спустя 30 лет после создания первых чистых помещений начат пересмотр Федерального стандарта США 209 В на чистые помещения, что предполагает дальнейшее развитие теоретических представлений. В связи с этим в настоящее время ощущается необходимость в разработке современной теории сверхчистых помещений на основе переоценки их функций и эффективности, анализа поведения взвешенных микрочастиц с помощью теории двухфазных потоков, анализа механизма загрязнения воздуха, исследования механизмов образования и конденсации аэрозолей.