Контроль чистоты

В современной полупроводниковой промышленности наблюдается неуклонная тенденция к увеличению степени интеграции БИС и СБИС. Фундаментом, обеспечивающим этот прогресс, является уже разработанная технология их производства в чистых помещениях. В настоящее время эта технология непрерывно совершенствуется, и на ее основе создаются сверхчистые помещения с новыми методами очистки жидких и газовых сред, автоматизированные процессы и прецизионное оборудование. В перспективе ожидается быстрый рост степени интеграции СБИС и ультраСБИС, в связи, с чем потребность в сверхчистых помещениях с высоким уровнем чистоты среды еще более возрастает.

Приведены минимальная ширина линии, минимальная толщина пленки и диаметр пластины, иллюстрирует прогресс, достигнутый за последние годы в технике БИС ЗУПВ с использованием МОП-технологии и в повышении класса чистых помещений.

Потребность в сверхчистых помещениях

• Контроль и поддержание чистоты в ЧПП
• Определение характера движения воздушных потоков
• Визуализация потоков
• Измерение скорости воздушных потоков и степени турбулизации
• Измерение температуры и влажности
• Измерение уровня чистоты
• Методы анализа субмикронных частиц
• Методы определения концентрации отдельных субмикронных частиц
• Градуировка счетчиков субмикронных частиц
• Измерение микрочастиц лазером
• Оптическая система LAS-X
• Приборы для контроля чистоты помещений
• Методика измерения
• Системы для контроля среды в чистых помещениях
• Значение систем контроля среды
• Датчики контроля среды
• Счетчики для контроля среды
• Системы контроля среды в чистых помещениях
• Вопросы совершенствования систем контроля среды в чистых помещениях
• Контроль среды в чистых помещениях
• Технология производства бис и степень чистоты
• Применение химических реактивов
• Контроль чистоты среды
• Контроль чистоты в чистой комнате
• Федеральный стандарт 209 В
• Контроль температуры и влажности
• Контроль спецодежды, применяемой персоналом в чистых комнатах
• Виды спецодежды для персонала чистых комнат
• Требования к ткани спецодежды в чистых комнатах
• Пошив спецодежды для использования в чистых комнатах
• Контроль спецодежды
• Контроль спецодежды для чистых комнат
• Оценка состояния спецодежды для чистых комнат
• Метод микроскопии
• Метод измерения числа частиц, основанный на оптическом рассеяния
• Методы оценки состояния спецодежды для чистых комнат
• Практическое применение контроля спецодежды в чистых комнатах

Далее будут кратко рассмотрены вопросы метрологии в сверхчистых помещениях, включая определение характера движения воздушных потоков и измерение чистоты воздушной среды.